टैंटलम पीवीडी स्पटरिंग कोटिंग मशीन, डीसी मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग द्वारा जमा टैंटलम फिल्में, पीवीडी टैंटलम प्लेटिंग
टैंटलम का व्यापक रूप से इलेक्ट्रॉनिक उद्योग में और कई उद्योगों में एक सुरक्षात्मक कोटिंग के रूप में उपयोग किया जाता है क्योंकि इसके क्षरण के अच्छे प्रतिरोध के कारण।
स्पटरड टैंटलम फिल्मों का व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है
1. माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक उद्योग के रूप में फिल्मों को प्रतिक्रियाशील रूप से स्पटर किया जा सकता है और इस प्रकार प्रतिरोधकता और प्रतिरोध के तापमान गुणांक को नियंत्रित किया जा सकता है;
2. चिकित्सा उपकरण जैसे शरीर प्रत्यारोपण इसकी अत्यधिक जैव-रासायनिकता संपत्ति के लिए;
3. जंग प्रतिरोधी भागों पर कोटिंग्स, जैसे थर्मोवेल, वाल्व बॉडी और फास्टनरों;
स्पटरेड टैंटलम को एक प्रभावी संक्षारण प्रतिरोध अवरोध के रूप में भी इस्तेमाल किया जा सकता है यदि कोटिंग निरंतर, दोषपूर्ण है और सब्सट्रेट का पालन करने का इरादा है.
RTAS1000 तकनीकी लाभ
1. त्वरित स्थापना के लिए प्लग-इन एकीकृत डिजाइन प्रणाली
2. सीमेंस पीएलसी, सीपीयू;औद्योगिक पीसी संचालन और नियंत्रण हार्डवेयर के साथ
3. दूरस्थ निगरानी और निदान के लिए उपलब्ध है।
4. लचीला, उन्नयन के लिए तैयार
5. तेजी से जमा करने की गति के लिए एकाधिक कैथोड
मशीन से अधिक लाभ:
मजबूत डिजाइन, स्थिर गुणवत्ता, तेज साइकिल, तेज साइकिल समय, उच्च जमा गति
मुख्य विन्यास | |
नमूना | आरटीएएस1000 |
प्रौद्योगिकी | डीसी मैग्नेट्रोन स्पटरिंग + कैथोडिक आर्क प्लेटिंग |
कक्ष सामग्री | स्टेनलेस स्टील (S304) |
कक्ष आकार | Φ1000 * 1000 मिमी (एच) |
कक्ष प्रकार | डी आकार, बेलनाकार कक्ष |
रोटेशन रैक और जिग सिस्टम | सैटेलाइट ड्राइविंग या सेंट्रल ड्राइविंग सिस्टम |
बिजली की आपूर्ति | डीसी स्पटरिंग बिजली की आपूर्ति: 2 ~ 4 सेट पूर्वाग्रह बिजली की आपूर्ति: 1 सेट आर्क बिजली की आपूर्ति: 11 सेट |
जमा सामग्री | Ti/Cr/TiAl, Ta, Au, Ag, Cu आदि। |
जमा करने का स्रोत |
प्लानर स्पटरिंग कैथोड + सर्कुलर आर्क कैथोड टिप्पणी: सिलेंडरियल डीसी स्पटर उपलब्ध है |
नियंत्रण | पीएलसी (प्रोग्रामेबल लॉजिक कंट्रोलर) + टच स्क्रीन (मैनुअल + ऑटो + सेमी-ऑटो ऑपरेशन मॉडल) |
पंप प्रणाली | रोटरी फलक पंप: SV300B - 1 सेट (लेबॉल्ड) |
रूट्स पंप: WAU1001 - 1 सेट (लेबॉल्ड) | |
होल्डिंग पंप: D60C - 1 सेट (लेबॉल्ड) | |
चुंबकीय निलंबन आणविक पंप: MAG2200 - 2 sest (लेबॉल्ड) | |
गैस मास फ्लो कंट्रोलर | 4 चैनल, मेड इन चाइना, सेवन स्टार (सीएस सीरीज़, ) डिजिटल मॉडल (Ar, N2, O2, C2H2) |
वैक्यूम गेज | मॉडल: ZDF-X-LE, मेड इन चाइना |
सुरक्षा तंत्र | ऑपरेटरों और उपकरणों की सुरक्षा के लिए कई सुरक्षा इंटरलॉक |
गरम करना | हीटर: 20 किलोवाट।मैक्स।अस्थायी: 450 ℃ |
ठंडा | औद्योगिक चिलर (ठंडा पानी) |
पावर मैक्स। | 100 किलोवाट (लगभग) |
औसत बिजली की खपत | 45 किलोवाट (लगभग) |
कुल वजन | टी (लगभग) |
फुट प्रिंट | (एल*डब्ल्यू*एच) 4000*4000 *3600 मिमी |
बिजली विद्युत | एसी 380V / 3 चरण / 50HZ / 5 लाइन |
बेलनाकार स्पटरिंग कैथोड प्लानर स्पटरिंग कैथोड
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मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग डिपोजिशन सिस्टम एप्लीकेशन...