Mangetron Sputtering Coater RTSP1215 तांबा, एल्यूमुनियम, प्लास्टिक, धातु सर्किट बोर्ड प्रवाहकीय फिल्म परत चढ़ाना के लिए esign है। यह सब्सट्रेट पर नैनो पतली फिल्म को गाढ़ा कर सकता है। Ag sputtering को छोड़कर, यह Ni, Au, Ag, Al, Cr, SS316L भी जमा कर सकता है।
RTSP1215 मशीन PVD फिल्म चित्रण से पहले 2 जोड़े एमएफ स्पटरिंग कैथोड्स के साथ स्थापित है, और प्लाज्मा बमबारी सफाई के लिए एनोड लेयर आयन स्रोत का 1 सेट।
आयन स्रोत गेनकोआ कंपनी से मूल है, गुण:
1. मानक स्पटरिंग दबावों पर एक collimated प्लाज्मा बीम का उत्पादन करने के लिए अनुकूलित चुंबकीय क्षेत्र
2. गैस के लिए स्वचालित विनियमन निरंतर चालू और वोल्टेज बनाए रखने के लिए - बहु-गैस ऑटो नियंत्रण
3. सब्सट्रेट को संदूषण से बचाने और लंबे जीवन वाले घटक प्रदान करने के लिए ग्रेफाइट एनोड और कैथोड
4. सभी आयन स्रोतों पर आरएफ मानक विद्युत इन्सुलेशन
5. एनोड और कैथोड के सीधे शीतलन में - भागों के त्वरित स्विचिंग
6. कम वोल्टेज ऑपरेशन, या एक केंद्रित बीम के लिए कई चुंबकीय जाल प्रदान करने के लिए कैथोड भागों का आसान स्विचिंग
7. वोल्टेज सभी समय पर एक ही वर्तमान बनाए रखने के लिए गैस समायोजन प्रतिक्रिया के साथ बिजली की आपूर्ति को विनियमित किया
RTSP1215 स्पटरिंग कोटिंग उपकरण अनुप्रयोग:
1. सब्सट्रेट पर उपलब्ध: प्लास्टिक, पॉलिमर, ग्लास और सिरेमिक शीट, स्टेनलेस स्टील, कॉपर शीट, एल्यूमीनियम बोर्ड आदि।
2. नैनो फिल्म बनाने के लिए जैसे: टीआईएन, टीआईसी, टीआईसीसीएन, सीआर, सीआरसी, सीआरएन, क्यूई, एजी, एयू, नी, अल आदि।
RTSP1215 स्पटरिंग कोटिंग उपकरण डिजाइन विशेषताएं:
1. सीमित कमरे की जगह के लिए मजबूत डिजाइन, अच्छा है
2. रखरखाव और मरम्मत के लिए आसान पहुँच
3. उच्च उपज के लिए फास्ट पंपिंग सिस्टम
4. CE मानक बिजली के बाड़े, उल मानक भी उपलब्ध है।
5. सटीक निर्माण कारीगरी
6. उच्च गुणवत्ता की फिल्म निर्माण की गारंटी के लिए स्थिर चल रहा है।
मुख्य विशेषता यह है कि रॉयल का अनुकूलित संचालन और नियंत्रण कार्यक्रम और सॉफ्टवेयर, जो ग्राहक की मांगों के विभिन्न अनुरोधों को पूरा करने के लिए उपलब्ध है। नियंत्रण प्रणाली पीएलसी + टच स्क्रीन है:
पीएलसी रिमोट मॉनिटरिंग एंड कंट्रोल (लोकल एरिया नेटवर्क)
1) रिमोट कंट्रोल टीम व्यू प्रोग्राम
2) पीएलसी प्रोग्राम बैक अप + एचएमआई प्रोग्राम बैक अप
3) पीसी ऑपरेटिंग वातावरण
सिस्टम: विंडो 2000 / विंडो XP / विंडो 7
प्रदर्शन पिक्सेल: 1920 * 1080
विन्यास
नमूना | RTSP1215 |
सामग्री | स्टेनलेस स्टील (S304) |
चैंबर आकार | Φ1200 * 1500 मिमी (एच) |
चैंबर प्रकार | 1-दरवाजा संरचना, ऊर्ध्वाधर |
एकल पंप पैकेज | रोटरी वेनवैक्यूम पंप |
जड़ें वैक्यूम पंप | |
चुंबकीय सस्पेंशन आणविक पंप | |
दो चरण रोटरी फलक वैक्यूम पंप | |
प्रौद्योगिकी | एमएफ मैग्नेट्रोन स्पटरिंग, रैखिक आयन स्रोत |
बिजली की आपूर्ति | स्पटरिंग पावर सप्लाई + बायस पावर सप्लाई + आयन सोर्स |
डिपॉजिटेशन स्रोत | 2 जोड़े एमएफ स्पटरिंग कैथोड्स + आयन स्रोत |
नियंत्रण | पीएलसी + टच स्क्रीन |
गैस | गैस मास फ्लो मीटर (Ar, N2, C2H2, O2) आर्गन, नाइट्रोजन और एथीन, ऑक्सीजन |
सुरक्षा तंत्र | ऑपरेटरों और उपकरणों की सुरक्षा के लिए कई सुरक्षा इंटरलॉक |
ठंडा | ठंडा पानी |
सफाई | ग्लो डिस्चार्ज / आयन स्रोत |
पावर मैक्स। | 120KW |
एवरेज पावर कंसम्पशन | 70kW |
अधिक विनिर्देशों के लिए कृपया हमसे संपर्क करें, रॉयल टेक्नोलॉजी आपको कुल कोटिंग समाधान प्रदान करने के लिए सम्मानित है।